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扫描电镜的操作流程是怎样的

日期:2024-04-01

扫描电子显微镜(SEM)的操作流程通常包括以下步骤:

准备样品:

样品制备:将待观察的样品制备成适当的形状和大小,并确保其表面光滑、干净。

导电处理:对非导电性样品进行导电处理,以避免电荷积聚影响成像质量。

安装样品:

安装样品支架:将样品放置在样品支架上,并使用导电胶或夹具将其固定在位置上。

调整样品位置:调整样品位置和角度,使其处于高质量成像位置,并确保与电子束的路径正交。

真空抽气:

打开真空系统:启动扫描电镜,并打开真空系统,开始真空抽气。

稳定真空度:等待真空度稳定达到工作要求,通常在高真空状态下工作。

调节参数:

设置加速电压:根据样品性质和所需分辨率,设置合适的加速电压。

调节工作距离:调节电子枪和样品之间的工作距离,以保持适当的成像条件。

选择探针尺寸:根据需要选择合适的探针尺寸,以平衡分辨率和信号强度。

对焦和对准:

对焦样品:使用透射电镜或图像对焦功能,调整电子束的焦点,使其聚焦在样品表面。

对准样品:通过微调样品位置和角度,确保电子束垂直撞击样品表面。

开始成像:

启动成像程序:选择成像模式和参数,并启动成像程序,开始获取图像。

捕获图像:根据需要调整扫描速度和图像质量,捕获样品表面的图像。

分析和保存:

图像分析:对获取的图像进行分析和处理,测量尺寸、形状,分析表面形貌等。

结果保存:根据需要保存图像和分析结果,并记录相关参数和观察条件。

关闭设备:

关闭成像程序:完成成像任务后,关闭成像程序并停止电子束。

关闭真空系统:关闭真空系统,并按照操作规程安全关闭设备。

以上就是泽攸科技小编分享的扫描电镜的操作流程。更多扫描电镜产品及价格请咨询15756003283(微信同号)

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作者:泽攸科技